臺達(dá)聚焦半導(dǎo)體工藝關(guān)鍵工藝，充分發(fā)揮深耕工業(yè)自動化的經(jīng)驗(yàn)和優(yōu)勢，提升工藝裝備效率，優(yōu)化裝備控制、驅(qū)動和執(zhí)行水平，全面提升裝備生產(chǎn)質(zhì)量和效率，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)精益化、智能化建設(shè)。

在近日舉行的2023年南京半導(dǎo)體大會上，臺達(dá)向?qū)I(yè)觀眾展示了利用工業(yè)自動化技術(shù)開發(fā)的多種半導(dǎo)體設(shè)備解決方案，助力半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)效率和質(zhì)量的提升。

清洗機(jī)解決方案

通過控制器內(nèi)置的探頭功能，可快速同步實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控制，全面優(yōu)化清洗機(jī)運(yùn)行效率，實(shí)現(xiàn)設(shè)備與上層系統(tǒng)無縫連接，提高設(shè)備管理智能化水平。

晶片訪問和回放解決方案

基于臺達(dá)機(jī)器人控制與驅(qū)動一體機(jī)MS系列強(qiáng)大的控制性能，配合起飛臂，重復(fù)定位精度可達(dá)±0.01 mm，對晶圓臂拾起和釋放動作反應(yīng)迅速。

分揀解決方案

伺服驅(qū)動系統(tǒng)阿斯達(dá)-A3提供軟著陸功能，配備微直線電機(jī)和運(yùn)動控制軸卡，力控制準(zhǔn)確，響應(yīng)快，提高了IC分選機(jī)的測試精度。

切片機(jī)解決方案

EtherCAT母線卡采用高慣性伺服電機(jī)，快速無振蕩；微型直線電機(jī)受力精度可控，降低碰撞損壞幾率。

裸露晶體高速訪問和播放的解決方案

內(nèi)置力控制和高速高精度的運(yùn)動性能，滿足高精度和高響應(yīng)的需求；龍門同步功能可實(shí)現(xiàn)雙直線電機(jī)驅(qū)動單軸運(yùn)動，提高CT和成品率。

SECS/GEM解決方案

通過配置工具的設(shè)置和高度自動化的無縫集成，幫助客戶快速將SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)入設(shè)備，解決底層設(shè)備多、信息集成難的問題。

臺達(dá)公司立足于發(fā)展“芯”，恪守智能制造的本質(zhì)，持續(xù)運(yùn)用創(chuàng)新的工業(yè)自動化技術(shù)，助力半導(dǎo)體行業(yè)對設(shè)備和生產(chǎn)線進(jìn)行智能化改造升級，幫助企業(yè)降低成本，提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。攜手半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)推動產(chǎn)業(yè)發(fā)展！